Введение в проблему разработки и производства СБИС

Термин СБИС (СверхБольшая Интегральная Схема) известен уже более трех десятков лет, с момента размещения на кремниевой подложке или кристалле нескольких десятков тысяч транзисторов. В настоящее время общее число транзисторов на больших кристаллах приближается к миллиарду и введен термин УБИС (Ультра-Большие Интегральные Схемы).