Про российское 90-нм оборудование и создание минифабов

Когда в моих статьях заходит речь о литографах, в комментариях появляются справедливые замечания о том, что литографическая линия состоит не только из, собственно, литографов (ещё называемых степперами), но и из большого числа другого оборудования (установки травления, осаждения и т.п.).