Серийное производство микросхем с проектными нормами 90 нанометров может начаться на зеленоградском «Микроне» в апреле-мае. Об этом рассказал председатель совета директоров компании Геннадий Красников.
Сейчас оборудование, приобретённое в рамках реализации проекта 90 нм, уже смонтировано, идут пуско-наладочные работы. В этом имел возможность убедиться корреспондент Zelenograd.ru в ходе вчерашней уникальной экскурсии в работающие «чистые» помещения (ЧП) «Микрона». В частности, на участке фотолитографии удалось увидеть работающий по 90 нм «степпер» — установку, на которой проводится важный этап фотолитографии — засветка фоторезиста через маску. Заглянуть в новые чистые помещения, построенные для размещения дополнительного оборудования по проекту 90 нм, не удалось — окна были занавешены, но они по меньшей мере существуют. Там будет проходить завершающая фаза процесса производства чипов — металлизация.
