Войти

Российские специалисты продвигаются в области EUV-литографии

1025
0
+1

Российские ученые делают успехи в EUV-литографии

Ученые из российского университета МЭИ объявили о создании нового источника излучения, предназначенного для применения в оборудовании EUV-литографии. В сравнении с существующими отечественными решениями он отличается повышенным КПД за счет добавления лития к гелиевому плазменному заряду.

Пока источник существует в виде экспериментального образца, но проведенные масштабные исследования доказали, что дополнение гелиевого плазменного разряда литием позволит создавать стационарные источники, востребованные в EUV-литографии. В будущем разработанный в МЭИ источник обеспечит массовый выпуск чипов и однокристальных систем по более тонким технологическим процессам, что заметно снизит их размеры, а также повысит быстродействие и улучшит энергоэффективность. На текущий момент создан прототип перспективной разработки и ведутся работы по созданию передовых российских литографов на основе данного источника излучения.

Макс Антонов

Права на данный материал принадлежат
Материал размещён правообладателем в открытом доступе
  • В новости упоминаются
Страны
Компании
Хотите оставить комментарий? Зарегистрируйтесь и/или Войдите и общайтесь!
ПОДПИСКА НА НОВОСТИ
Ежедневная рассылка новостей ВПК на электронный почтовый ящик
  • Разделы новостей
  • Обсуждаемое
    Обновить
  • 06.05 20:18
  • 81
«Не в пользу российской машины»: 38-й НИИИ БТ МО завершил испытания трофейной американской БМП Bradley M2A2 ODS SA
  • 06.05 20:15
  • 0
Ответ на "«Швейцарский нож королевского флота»: Британия распродаёт выведенные из эксплуатации десантные корабли класса Albion"
  • 06.05 20:08
  • 16
Тегеран подготовил ракеты для потенциального ответа США - СМИ
  • 06.05 20:03
  • 8760
Без кнута и пряника. Россия лишила Америку привычных рычагов влияния
  • 06.05 18:48
  • 0
Ответ на "Эксперт предложил пути подготовки к столкновению с ЕС"
  • 06.05 16:50
  • 1
Грозит ли нам восстание машин?
  • 06.05 16:45
  • 1476
Корпорация "Иркут" до конца 2018 года поставит ВКС РФ более 30 истребителей Су-30СМ
  • 06.05 16:10
  • 73
Каким может быть сверхтяжелый танк
  • 06.05 12:17
  • 1
Путин подписал договор о всеобъемлющем стратегическом партнерстве РФ и Ирана
  • 06.05 11:55
  • 40
Командующий ВВС США в Европе о роли авиации в боевых действиях на Украине
  • 06.05 10:32
  • 1
«Швейцарский нож королевского флота»: Британия распродаёт выведенные из эксплуатации десантные корабли класса Albion
  • 06.05 01:54
  • 1
Эксперт предложил пути подготовки к столкновению с ЕС
  • 05.05 22:30
  • 0
Ответ на "Модернизированный белорусскими инженерами ЗРК "Печора" прошел успешные испытания боевыми пусками"
  • 05.05 22:00
  • 0
Ответ в теме "Америка может вскоре выйти из мирных переговоров по Украине (The National Interest, США)"
  • 05.05 21:36
  • 16
Америка может вскоре выйти из мирных переговоров по Украине (The National Interest, США)