Резиденты особой экономической зоны «Технополис Москва» и ученые Зеленоградской компании проводят исследования для создания установки, которая позволит печатать микросхемы размером от 28 нанометров и ниже, востребованным в современной микроэлектронике.
Об этом сообщил руководитель Департамента инвестиционной и промышленной политики, входящего в Комплекс экономической политики и имущественно-земельных отношений столицы, Владислав Овчинский.
«Резиденты ОЭЗ Москвы участвуют в проекте по созданию технологии и разработке установки-литографа – уникального оборудования для производства микросхем. Научные работы по проекту проходят на базе университета при участии резидента столичного технополиса. Производственные мощности кластера микроэлектроники столичной ОЭЗ будут задействованы для изготовления необходимых проекту образцов», ̶ сказал Владислав Овчинский.
Установка сможет использоваться для производства чипов топологических размеров от 28 нанометров и ниже на базе российских синхротронов и плазменных источников излучения. Ученые университета в кооперации с резидентами ОЭЗ Москвы сегодня изучают возможность реализации технологии.
По словам проректора по научной работе, если эта работа завершится успешно, за ней последует опытно-конструкторский проект по созданию литографической установки.
«Резиденты ОЭЗ Москвы вносят значительный вклад в отечественную инноватику и микроэлектронную промышленность. Так, зеленоградский резидент уже вложил в проект более 300 млн руб. Очередной шаг в этом направлении – участие в создании уникального литографа для печати чипов. Эта работа в кооперации с университетом позволит усилить компетенции и являться важным шагом технологического развития для микроэлектроники России», - отметил генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дегтев.
