«Роскосмос» сообщил, что специалисты Центра микроэлектроники холдинга «Российские космические системы» разработали технологию групповой обработки кварцевых и кремниевых микрокомпонентов для акселерометров и гироскопов.
Это важнейшие изделия для навигации и управления космической и авиационной техникой, заменить в которых импортные компоненты является одной из важных задач.
Современные акселерометры и гироскопы позволяют решать задачу инерциальной навигации (относительно инерциальной системы координат) автоматически с помощью бортовых систем. По сравнению с навигационными системами относительно недавнего прошлого новые системы очень и очень компактные — они проделали путь от платформ весом в десятки килограммов до приборов размером со спичечный коробок и даже меньше. Произошло это благодаря развитию микроэлектроники. Сегодня в мире, например, механические элементы акселерометров и гироскопов изготавливаются в среднем с технологическими нормами 0,35 мкм.
До сих пор в России элементы акселерометров и гироскопов выпускали несколько предприятий, но во всех случаях это было сопряжено с большим объёмом ручного труда. Каждый кремниевый и кварцевый элемент доводился до требуемых «Роскосмосу» размеров вручную, что также вело к значительному уровню брака, который нередко превышал 70 %.
Специалисты Центра микроэлектроники холдинга «Российские космические системы» разработали технологию, которая позволяет выпускать на одной пластине множество одинаковых механических элементов акселераторов со строго определёнными размерами, что сразу понизило уровень брака до 30 % и менее.
«Благодаря применяемым в РКС ноу-хау достигнута точность кремниевых элементов микроэлектромеханической системы акселерометров и гироскопов до 1 микрометра и увеличена точность микрообработки кварцевых чувствительных элементов в 5 раз по сравнению с традиционными технологиями», — говорится в пресс-релизе «Роскосмоса».
Заместитель руководителя отдела разработки микромеханических систем РКС Андрей Корпухин сказал: «В РКС развивают и совершенствуют эту технологию с 2007 года. Мы применяем процессы микроэлектронного производства: формирование тонкоплёночных диэлектрических и проводящих слоёв, фотолитографию, жидкостное и плазмохимическое селективное травление и другие. Для создания высокотехнологичных чувствительных элементов используются материалы, изготовленные в России».
