Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех впервые представил на форуме «ЭкспоЭлектроника-2022» зондовую станцию для измерения электрических характеристик устройств на неразделенных полупроводниковых пластинах. Аппаратура предназначена для применения в микроэлектронике, научно-образовательных центрах в технических вузов и способна заместить импортные аналоги.
Новая зондовая станция разработана томским НИИ полупроводниковых приборов (НИИПП, входит в «Росэлектронику»). Оборудование имеет небольшие габариты, интуитивно понятное управление и позволяет проводить измерения электрических характеристик устройств на неразделенных полупроводниковых пластинах диаметром до 150 мм. Конструкция изделия обеспечивает возможность установки одновременно до четырех микропозиционеров, что гарантирует высокую точность измерений.
Зондовая станция позволяет выполнять достоверные измерения каждого компонента в процессе разработки и изготовления монолитных интегральных схем непосредственно на полупроводниковой пластине. Например, транзисторов, пассивных компонентов, элементов линий передачи. Измерения помогают проверить, удовлетворяют ли изготовленные компоненты исходным требованиям, а также построить и верифицировать математические модели элементов интегральной схемы. Это, в свою очередь, позволяет сократить время выхода конечного изделия на рынок.
Зондовая станция НИИПП может входить в состав программно-аппаратного комплекса для автоматизации процесса измерения.
Выставка «ЭкспоЭлектроника» проходила с 12 по 14 апреля в международном выставочном центре «Крокус Экспо» в Москве.