Китай представил новое поколение собственных литографических машин⁠

Оборудование уже используется на предприятиях Китая, выпускающих логические микросхемы и микросхемы памяти 

Компания Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) представила новое поколение установок сухой литографии на 9-й Китайской международной выставке импортных товаров.