Правительство утвердило балльную систему оценки оборудования для производства микроэлектроники, необходимую для признания такой продукции российской.
Документ № 601 от 26 мая 2026 г. вносит изменения в постановление правительства № 719 «О подтверждении производства российской промышленной продукции», дополняя раздел IX восемью новыми позициями: от установок для эпитаксиального выращивания структур до оборудования для полировки пластин. Документ был опубликован на официальном портале правовой информации в конце мая 2026 г.
Впервые о планах ввести балльную систему для оборудования производства чипов стало известно в октябре 2025 г., когда на форуме «Микроэлектроника» замдиректора департамента станкостроения Минпромторга Фатима Дзодзикова анонсировала соответствующие критерии.
Постановление вводит балльную систему для восьми категорий оборудования: установки для эпитаксиального выращивания полупроводниковых структур, литографы, установки ионной имплантации, оборудование для производства полупроводниковых слитков, для термической обработки пластин (осаждения, диффузии и пр.), для формирования тонкопленочных структур, лазерное оборудование для обработки и полировки полупроводниковых пластин.
Например, производителям литографов будут давать по 30 баллов за российские источники излучения, катодные узлы, объективы, оптические тракты, электронно-оптические системы, вакуумные насосы, модули совмещения и высоковольтные источники питания, по 20 баллов — за использование отечественных механизмов перемещения пластин, контроллеров и устройств сопряжения, по 10 — за детекторы электронов, механизмы загрузки, ИБП, электротехнику и каркас.
Для оборудования для эпитаксии (выращивания полупроводниковых структур) будут давать по 30 баллов за применение отечественных реактора или вакуумной камеры, источников прекурсоров, приборов контроля и вакуумные насосы, по 20 баллов — за механизм перемещения пластины, тигли из спецматериалов, вакуумметр, источники питания и центральный контроллер, по 10 баллов — за арматуру, механизм загрузки, газовую систему, электротехнику, чиллер, ИБП и станину.
По 30 баллов за мотор-шпиндель, по 20 баллов за изделия из чугуна, рабочий или поворотный стол, шарико-винтовые передачи, вакуумную систему или механизм распределения усилия, узел управления установкой, контроллер и устройства сопряжения будут начислять производителям установок полировки и шлифовки пластин. По 10 баллов — за станину, кабинетную защиту, коробку передач, направляющие качения, гидросистему, систему подачи СОЖ, пневмосистему, узел питания, систему аспирации и электротехнику.
Отдельно поощряется использование российского программного обеспечения: за ПО верхнего и нижнего уровня из единого реестра дают по 30 баллов, а за отработку базового технологического процесса на территории России — еще 20 баллов.
При этом для всех типов оборудования обязательными условиями остаются наличие у производителя прав на конструкторскую документацию, сервисный центр в ЕАЭС, а также сборка, установка и отладка ПО на территории России, а также наладка и тестирование оборудования — эти требования баллов не дают, но без них оборудование не может быть признано российским.
Для каждого вида оборудования установлены минимальные пороги баллов с поэтапным ужесточением. Для эпитаксиального оборудования минимальный порог вырастет с 130 до 250 баллов, для литографического — с 80 до 170 баллов, для установок ионной имплантации — с 180 до 210 баллов (требования вступят в силу только с 2029 г.). Для оборудования термической обработки пластин порог повысится с 80 до 170 баллов, для установок формирования тонкопленочных структур — с 90 до 250 баллов, для лазерного оборудования — с 70 до 160 баллов, а для полировальных и шлифовальных машин — с 90 до 210 баллов.
Первый этап требований начнет действовать с сентября 2026 г., второй — с 2029 г., а самые жесткие нормы вступят в силу с 2032 г.
