Сканирующий микроскоп
В России планируют создать отечественный сканирующий электронный микроскоп, необходимый для контроля критически важных размеров на кремниевых пластинах. На это выделено около 2,4 млрд рублей.
Это будет промышленно ориентированная установка CD-SEM, способная контролировать пластины диаметром 100, 150 и 200 мм, а опытный образец выпустят в исполнении для 200-мм пластин. Установка даст возможность проводить неразрушающие измерения диаметров контактных отверстий, ширины линий, расстояний между элементами периодических структур, а также других важных параметров. Работы необходимо завершить до июня 2030 года. При этом в техническом задании прямо указаны зарубежные аналоги, к которым по своим параметрам должна быть близка российская установка: CD-SEM S-9380 и CG4000 компании Hitachi. Однако уточняется, что ключевые компоненты микроскопа, включая электронную пушку, электронно-оптическую колонну, рабочую камеру, модуль загрузки-выгрузки полупроводниковых пластин, вакуумные насосы, контроллеры и необходимое ПО, должны выпускаться в России. Использование импортных компонентов возможно в порядке исключения и при обязательном согласовании с Минпромторгом.
Макс Антонов
