Для производства микросхем: в России создают первую 8-модульную кластерную установку магнетронного напыления

Это важный шаг в развитии российской микроэлектроники

Научно-исследовательские институты НИИТМ и НИИМЭ, входящие в группу компаний «Элемент», приступили к созданию первой в России кластерной установки из восьми модулей для нанесения алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления.