В России планируют запустить 28-нанометровый литограф
На базе возводящегося под Новосибирском Сибирского кольцевого источника фотонов, также известного как СКИФ, будет создана уникальная для России установка в виде рентгеновского литографа «Орел-7», который позволит выпускать 28-нанометровые чипы.
Как уточняется, стандартные на сегодня методы производства микросхем имеют ограничение по длине волны света, а возможный переход к перспективному рентгеновском диапазону, который является более коротковолновым, поможет сделать шаг к сверхминиатюрному строению транзисторов, отличающимся улучшенным разрешением. Как ожидается, полноценный запуск в работу синхротрона СКИФ состоится уже летом текущего года — это будет мощнейший во всем мире источник излучения, относящийся к четвертому поколению. Энергией СКИФа будет снабжаться рентгеновская спецстанция, обеспечивающая функционирование литографа. Российские ученые уже работают над «цифровыми копиями» оборудования, а в планах развертывание аналогичной установки на синхротроне в подмосковном Зеленограде — на ней будет проходит отладка промышленной эксплуатации.
Макс Антонов
