Зеленоградский “Микрон” изготовил тестовые образцы микросхем, созданных по технологии 65-нм. Вскоре предприятие обещает запустить промышленное производство серийных изделий.
Предприятие “НИИМЭ и Микрон” закончило научные и технологические работы по созданию микросхем по технологии 65-нм. Тестовые образцы таких транзисторов и кольцевых генераторов сошли с конвейера в декабре 2013 г., заявил генеральный директор компании Геннадий Красников.
В апреле 2014 г. «Микрон» планирует выпустить свои первые изделия по новой технологии - память на 16 Мб, говорит Красников: «С одной стороны это достаточно простые изделия, а с другой почти 100 млн транзисторов на кристалле позволяют хорошо оценить процент выхода годных изделий».
В технологическом процессе 65-нм производства «Микрона» используется ультрафиолетовая фотолитография с длиной волны излучений 193 нм, которая применяется для серийного производства 90-нм чипов.
В конце лета 2014 г. Красников намерен предоставить правила проектирования по технологии 65-нм сторонним дизайн-центрам, чтобы те могли формировать свои заказы для “Микрона”. “В конце года мы будем готовы организовывать серийное производство как собственных разработок, так и разработок других дизайн-центров”, - обещает он.
Для изготовления пластин с микросхемами по новому для предприятия техпроцессу используется та же линия оборудования, на которой уже производятся чипы по технологии 90 нм. Однако, помимо изменения настроек устройств, была докуплена и новая аппаратура.
“Мы закупили технологическое оборудование, достраиваем новую чистую комнату, - говорит Красников. - Пока мы хотим выйти на мощность 500 пластин в месяц по 65-нм”.
Использование уже работающего на линии оборудования является стандартным подходом при минимизации типоразмеров, отмечает руководитель «Микрона».
Сейчас линия выпускает около 3,5 тыс. пластин в месяц по технологии 90-нм. Из заказчиков Красников называет МЦСТ (производит процессор “Эльбрус”) и НТЦ “Элвис”, специализирующееся на аппаратной обработке видеоизображений (цифровые сигнальные процессоры, микросхемы памяти и т.д.).
Переход на новых технологический процесс позволит сократить энергопотребление чипов и их габариты за счет большего числа элементов на единицу площади. 65-нм микросхемы будут изготавливаться на 200 мм пластинах. Красников называет это отработанной технологией: «В мире есть 8 таких фабрик».
Помимо собственных инвестиций “Микрона” в доработку производственной линии средства поступали в рамках федеральной целевой программы (ФЦП) Минпромторга по развитию российской микроэлектроники. По оценке Красникова, в целом до 3 квартала 2014 г. общий объем вложений, который позволит довести линии до промышленного производства микросхем, составит 3 млрд руб. Из них около 1 млрд руб. потребовала доработка технологий, а 2 млрд руб. - создание инфрастурктуры, т.е. закупка оборудования.
В “Микроне” говорят, что заказчики изделий по технологии 90-нм уже заявили о своем интересе к 65-нм и переносе производства с зарубежных линий. Заместитель директора по науке Николай Шелепин помимо уже упоминавшихся выше МЦСТ и “Элвиса” называет НИИМА “Прогресс”, занимающийся в том числе приемниками ГЛОНАСС/GPS.
Денис Легезо
