В Лаборатории «Низкотемпературные керамические технологии (LTCC) в микроэлектронике» НИЯУ МИФИ создан отечественный комплекс по микрообработке микроэлектронных материалов на базе УФ-лазера, сообщили представители МИФИ.
Современное оборудование для производства электронных компонентов, созданное в эпоху индустриальной парадигмы, имеет ряд существенных недостатков: высокая стоимость, сложность и дороговизна обслуживания, а иногда и недоступность расходных материалов. Несколько лет назад у сотрудников кафедры микро- и наноэлектроники МИФИ возникла идея сделать собственную установку, чтобы обойти эти ограничения. Так началась работа над проектом по созданию программно-аппаратного комплекса для четырехкоординатной адаптивной лазерной микрофрезеровки. Теперь задача успешно выполнена.
«Наша установка позволяет небольшим научным группам получать примерно тот же результат, что и на промышленных линиях, заточенных под массовое производство. С помощью нашего оборудования можно повторить операции, которые делают на крупных производствах, а еще – использовать новые материалы, которые прежде было сложно объемно обрабатывать классическими технологиями», - сказал руководитель лаборатории Константин Облов.
В частности, комплекс способен обрабатывать циркониевую керамику, которую применяют для создания газовых датчиков – приборов для сверхтяжелых условий эксплуатации, связанных с регистрацией процессов качества сгорания топлива в газовых турбинах и дизельных двигателях.
Программно-аппаратный комплекс, созданный руками молодых ученых МИФИ, является эксклюзивной технологией для изготовления керамических МЭМС-сенсоров. Коллектив лаборатории принимает активное участие во множестве международных научных проектов, одним из примеров может служить работа, выполненная в консорциуме DigiMan с научными и коммерческими организациями Германии и Израиля.
Лаборатория «Низкотемпературные керамические технологии (LTCC) в микроэлектронике» Института нанотехнологий в электронике, спинтронике и фотонике (ИНТЭЛ) МИФИ – одна из первых научно-исследовательских лабораторий, открытая в рамках проекта Министерства науки и высшего образования России по созданию в стране ста молодежных лабораторий в области микроэлектроники.
