В России создан уникальный ультрафиолетовый лазер для производства микросхем. Он является заменителем американского лазера компании Coherent.
Российская компания «Оптические технологии» из Новосибирска разработали отечественную лазерную систему для печати фотошаблонов при помощи ультрафиолетового излучения. Как пишет ТАСС со ссылкой на представителей компании, у этого лазера в настоящее время нет ни единого аналога в России. Использоваться этот лазер будет при изготовлении микросхем, уточняет агентство.
Однако же за пределами России заменители нового детища компании «Оптические технологии» существуют. Новый российский лазер 257-нанометровый, и точно такой же имеется в распоряжении американской компании Coherent. Впрочем, в последние годы компания сталкивается с различными трудностями – летом 2024 г. корпорация Apple разорвала с ней все контракты по выпуску компонентов для iPhone, вследствие чего Coherent вознамерилась закрыть один из своих европейских заводов по выпуску электронной компонентной базы. Он расположен в Великобритании.
Новый российский лазер, как и его иностранные аналоги, используются для одних и тех же целей – для печати фотошаблонов. В свою очередь эти фотошаблоны в дальнейшем применяются для нанесения рисунка на кремниевые пластины, отмечает издание.
С физической точки зрения фотошаблон – это специальная тонкая пленка, на которой нанесена схема поверхности кремниевой пластины – она в дальнейшем используется для лазерной литографии.
Лазерная литография – это самый распространенный метод нанесения изображения на кремниевую пластину. В ней применяется специальный лазер, и в России такие технологии тоже есть. В сентябре 2024 г. сообщалось, что после 2026 г. в России начнется сравнительно крупное производство лазеров для литографии, которые будут использоваться для выпуска микросхем. Планируется сборка как минимум пяти таких лазеров в год.
Представитель компании – разработчика подтвердил ТАСС, что импортозамещать российский лазер будет в первую очередь продукцию Coherent. «Мы импортезамещаем американские лазеры Coherent на 257 нанометров, и все оборудование и фоторезисторы заточены под эту длину волны. Аналогов в России нет, потому что это узкоспециализированные лазеры», – заявил он.
Новый лазер – это особый программно-аппаратный комплекс. В плане аппаратного оснащения это симбиоз из непосредственно лазера мощностью 10-30 мВт (милливатт) и волоконного усилителя.
Предназначение последнего становится понятно уже из его названия. В творении «Оптических технологий» он используется для многократного увеличения мощности энергии лазера – с базовых 10-30 мВт до 15 Вт.
В дополнение к перечисленному в составе лазера есть специальный кристалл. Он служит для преобразования частоты лазерного света. «Получается дополнительная генерация» – сказали ТАСС в «Оптических технологиях».
Итоговая конструкция отличается очень незначительным расходом энергии, за счет чего снижаются затраты на электричество и повышается общая эффективность производства, сообщили ТАСС разработчики лазера. По их словам, система потребляет 1 ватт энергии, но не уточнили, в какой промежуток времени. Они отметили лишь, что энергопотребление лазера «меньше чайника в два раза».
К моменту публикации материала разработчики не раскрывали сроки начала серийного производства нового лазера. Известно лишь, что к концу мая 2025 г. на руках у них был лишь один предсерийный прототип, который они используют для испытаний.
К слову, сами тесты проходят вовсе не в России. Полигоном для них стало предприятие электронной промышленности «Планар», расположенное в Белоруссии.
