Схема ВЧ-плазмотрона: 1 – генератор; 2 – индуктор; 3 – разрядная камера; 4 – рабочая камера; 5 – подложка; 6 – система газообеспечения; 7 – система выхлопа; 8 – система охлаждения.
.
.
- Размер
- 347 x 180
- Вес
- ~23 kb
- Загружено
- 23.01.2013
- Загрузил
- ДВ
Код для вставки
Код для вставки миниатюры
Код для вставки миниатюры